氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

技術特點

微處理器控制                                            可獨立運行

MFC內部采用可編程未處理控制，使用PID控制，可實現       MFC上電后即可使用，用戶可通過按鍵直接對MFC進行

不同工況條件下進行高速準確的流量控制。                   操作，無需連接其他外部電路、PC、PLC等設備。

緊湊的外形尺寸                                          多氣體多量程選擇

MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統       MFC內部設置了多種氣體模式（H2、N2、Air、He等）

體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。                出廠時會根據您的需求進行操作選擇。同時，提供不同

量程MFC產品，可根據您的實驗需求進行選擇。

九針總線串口接口

MFC內置九針串口，可選擇使用RS-485控制和4~20ma兩          自帶氣路凈化處理

種模式。可通過RS-485總線組網，實現多臺MFC同時控制。   MFC進氣口自帶5um氣路過濾組件，保障氣體潔凈。